不銹鋼真空腔體：普遍應用于表面研究、分子束外延（MBE）生長、電子能譜儀、粒子加速器等領域中。一般而言，腔體呈橢球、圓柱形等，在其柱壁上根據(jù)需要制造一些接口，用于連接測量及生長設備，連接視窗后也可供實驗者觀察腔內情況。這些接口被稱為法蘭口，法蘭的尺寸有相應的行業(yè)標準，根據(jù)實驗需要和接入儀器的法蘭接口大小在設計腔體時就要考慮好每個法蘭口的大小角度，位置等參數(shù)。事實上，設計真空腔體的難點，就是要在有限的腔體表面上，設計出合理的法蘭數(shù)和法蘭位置，令腔體功能在滿足實驗要求的同時具有進一步擴展的靈活性，以適應實驗者不斷提出的新想法和新要求。