多邊形鍍膜機腔體主要應用于各種工業涂裝系統，其功能是在大范圍的基板上沈淀出一層功能性和裝飾性薄膜，例如DLC (類鉆碳膜)系統、電弧蒸鍍系統、以及磁控管濺鍍系統。

多邊形鍍膜機腔體根據不同的應用與需求，形狀有矩形或者多邊形，如五邊形，六邊形或八邊形等。大學和產品研發中心結合靈活性和小體積及低運營成本需要特殊的真空腔體作為他們的實驗系統。